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涂胶显影装备是干什么活的

国产涂胶显影装备是干什么活的?简朴的说就是把光刻胶匀称撒在硅片外貌 ,然后烤一烤天生超薄胶膜 ;在光刻机完成曝光后 ,再举行图形的显影 ,以是要与光刻机装备联机作业 。

作为光刻机的输入(曝光前光刻胶涂覆)和输出(曝光后图形的显影) ,涂胶/显影机的性能不但直接影响到细微曝光图案的形成 ,其显影工艺的图形质量和缺陷控制对后续诸如蚀刻、离子注入等诸多工艺中图形转移的效果也有深刻影响 。

荷兰EUV光刻机一直拖延供货 ,国产光刻机等装备鼎力大举研发中 ,信托我们的中国科技精英一定会不负众望逐一突破西方的封闭 。

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