尊龙凯时人生就是博

效劳热线
天下客服热线:

024-83186298

行业动态

Tokyo Electron推出电化学沉积装备Stratus? P500 实现

  Tokyo Electron (TEL)宣布正式推出新一代电化学沉积装备Stratus™ P500。该基板电镀装备是半导体行业的倾覆式立异,可实现在玻璃基板和环氧树脂板上举行晶圆级高精度、高品质工艺处置惩罚。
                       
 
陪同着先进封装电镀手艺蹊径的一直演进,
处置惩罚巨细图形需要应用更高速、
更匀称的填充手艺。
Stratus P500融合了半导体工业生产制造
的基础优势,
扩大可电镀面积、提升3倍生产性,
将为业界带来重大厘革。
现在该装备已在多家客户工厂乐成运行。
尊龙凯时人生就是博(中国)官网登录入口
<Stratus P500>
 
 
启用最先进封装手艺的现有机型
Stratus™ P300,
也同样受到全球半导体制造商的青睐。
Stratus P300与其他同类装备相比,
处置惩罚晶圆的电镀槽更多,
工艺效果更优。
优异的匀称性和较快的电镀速率,
极大地降低了诸如铜柱、中介层、
fan-out晶圆级封装等的
长时间电镀应用历程所爆发的CoO。
别的,
针对多种先进封装特征生产的客户,
包括像铜再配线层(RDL)等的
较短时间的电镀应用,
Stratus™ P300的高速搬送系统具有
高无邪性和可扩张性,
可处置惩罚种种尺寸的形状。
 
 
TEL NEXX总裁Tom Walsh体现,
“TEL正在起劲研究实现逾越
摩尔定律的'More than Moore'要领。
我们提供的装备解决计划,
能够对应300mm晶圆的同时,
也实现了在大尺寸基板上
举行晶圆级先进封装的电镀处置惩罚。
我们将竭诚与客户细密相助,配合研发,
使类似fan-out型晶圆级封装和
高性能电子学器件等先端手艺成为可能。”
 
  想相识更多Stratus™ P500的信息
  请至TEL在SEMICON West展台咨询
  时   间    2017年7月11日~13日
  地   点    旧金山莫斯康展览中央
                  加利福尼亚州,美国
  展位号    North Hall – 6168
  接待莅临指导
 
  关于Stratus P300 
  Stratus P300是处置惩罚先端封装的电镀装备,配备调解晶圆尺寸的结构和多达30个电镀槽,可应用于Fan-out型晶圆级封装、铜柱、TSV(Through Silicon Via)的量产。Stratus P300将生产量提升至2倍,实现在高难度电镀应用中的高速处置惩罚。Stratus P300的品质赢得客户信托,已乐成实现追加订货。
 
  关于TEL NEXX 
  TEL NEXX在先进封装和3DI领域具有富厚的手艺履历。装备系列实现高效率、低本钱,其中包括处置惩罚多层金属成膜的溅射沉积装备Apollo,以及高生产能力的电镀装备Stratus等。

联系尊龙凯时人生就是博

联系人:魏司理

手 机:13940431475

邮 箱:sale@tdsemi.com.cn

公 司:尊龙凯时人生就是博

地 址:沈阳市苏家屯区桂竹香街68号智能制造工业园E3

涂胶显影装备手艺效劳热线

【网站地图】【sitemap】